掃描電鏡是使用最廣泛的儀器之一。掃描電鏡主要由冷卻循環(huán)水系統(tǒng)，電子光學(xué)系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，信號檢測，處理和顯示系統(tǒng)，圖像記錄系統(tǒng)，樣品室和電源系統(tǒng)組成。

在掃描電子顯微鏡之前，應(yīng)對樣品進(jìn)行相應(yīng)的處理。掃描電子顯微鏡不僅可以檢測二次電子圖像，還可以檢測反向散射電子，透射電子，特征X射線，陰極發(fā)光和其他信號圖像。成像原理與二次電子圖像相同。

掃描電子顯微鏡是使用最廣泛的儀器之一。它可以進(jìn)行以下基本分析：具有許多卓越性能的多功能儀器。

1.納米材料的觀察：具有很高的分辨率，當(dāng)組分材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-μm的范圍內(nèi)時，可以觀察在保持表面清潔的條件下通過壓模獲得的固體材料。 100納米

2，材料斷裂的分析：其景深，圖像富有三維感，具有三維形狀，可以從斷裂形態(tài)上顯示出材料斷裂的本質(zhì)，在材料斷裂原因分析，事故原因分析中而過程合理性是一種有力的手段。

3，直接觀察原始樣品表面：可以直接觀察直徑為100 mm，高50 mm或較大尺寸的樣品，樣品沒有任何限制，可以檢測出粗糙表面的形狀，它將消除了制備樣品的必要性，并且可以真正觀察樣品本身具有不同對比度（反向散射電子）的材料成分。

4，觀察厚樣品：當(dāng)觀察厚樣品時，可以獲得高分辨率和最真實(shí)的形態(tài)。

5，觀察樣品每個區(qū)域的細(xì)節(jié)：樣品在樣品室中可以在非常大的范圍內(nèi)移動，可以在三個自由度內(nèi)移動（三個空間平移，三個空間旋轉(zhuǎn)），這帶來了非常方便地觀察每個區(qū)域中樣品的不規(guī)則形狀。

6，在大視野下，以低倍率觀察樣品，使用掃描電鏡觀察大視野下的樣品：在大視野下，以低倍率觀察樣品的形態(tài)在某些領(lǐng)域是必要的，例如犯罪偵察和考古學(xué)。

7.從高倍率到低倍率的連續(xù)觀察：掃描電子顯微鏡具有廣泛的倍率范圍（從50,000到200,000倍連續(xù)可調(diào)），并且可以在從高倍率到低倍率以及從低倍率到高倍率后連續(xù)觀察。無需重新聚焦即可聚焦，這對于分析特別方便。

8.觀察生物樣品：由于樣品在電子輻照表面上的損壞和污染程度很小，因此觀察一些生物樣品尤為重要。

9，動態(tài)觀察：如果樣品室配備有加熱，冷卻，彎曲，拉伸和離子蝕刻配件，則可以觀察動態(tài)變化過程的相變，斷裂強(qiáng)度等。

如圖10所示，從樣品表面形態(tài)獲得各種數(shù)據(jù)：由于掃描電子圖像不是同時記錄的，因此根據(jù)這種組成將其分解為近一百萬個連續(xù)記錄。掃描電子顯微鏡（SEM）不僅可以分析表面形態(tài)，還可以分析成分和元素，還可以通過電子通道圖案進(jìn)行晶體學(xué)分析，選擇尺寸范圍為10μm至3μm。

現(xiàn)在，掃描電子顯微鏡（sem）已廣泛用于材料科學(xué)，金屬材料，非金屬材料，納米材料），冶金，生物學(xué)，醫(yī)學(xué)，半導(dǎo)體材料和設(shè)備，地質(zhì)勘探，植物病蟲害的預(yù)防，災(zāi)難（火災(zāi)） ，故障分析）評估，犯罪偵查，寶石鑒定，產(chǎn)品鑒定和工業(yè)生產(chǎn)中的生產(chǎn)過程控制等。