自工業(yè)化以來(lái)，尤其是國(guó)防軍工行業(yè)的需要，要求零件具備高度互換性，對(duì)尺寸 位置和形狀公差的要求，推動(dòng)力幾何量計(jì)量技術(shù)的發(fā)展。

美國(guó)Brown&Sharpe公司在1875年制造的千分尺

隨著工業(yè)現(xiàn)代化進(jìn)程的發(fā)展，伴隨著眾多制造業(yè)如汽車(chē) 機(jī)床及模具工業(yè)的大規(guī)模生產(chǎn)的需要，促進(jìn)和推動(dòng)了三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x(三次元測(cè)量機(jī))技術(shù)的發(fā)展。

三坐標(biāo)是檢測(cè)工業(yè)零件的一種精密測(cè)量的方法，廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造、工業(yè)制造的重要測(cè)量的方法。

世界上第一臺(tái)現(xiàn)代意義上的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)：1959年，法國(guó)巴黎國(guó)際機(jī)床博覽會(huì)上，蘇格蘭Ferranti公司展出了第一臺(tái)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。該測(cè)量機(jī)為直角坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，在×軸和y軸上設(shè)置了2個(gè)可移動(dòng)的導(dǎo)軌和讀數(shù)裝置，并在z向上放置位移傳感器，測(cè)量精度為0.001inch，自此，坐標(biāo)測(cè)量機(jī)將測(cè)量技術(shù)革命性地從傳統(tǒng)的比較式測(cè)量模式帶入空間點(diǎn)坐標(biāo)測(cè)量模式。

世界上第一臺(tái)現(xiàn)代意義上的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

世界上第一臺(tái)龍門(mén)式測(cè)量機(jī): 1962年，作為菲亞特(FIAT)汽車(chē)公司質(zhì)量控制工程師的Fraorinco Sartorio，在意大利都靈創(chuàng)建了DEA公司，成為世界上第一家專(zhuān)業(yè)制造坐標(biāo)測(cè)量機(jī)設(shè)備的公司。

DEA公司產(chǎn)ALPHA：世界上第一臺(tái)龍門(mén)式測(cè)量機(jī)

世界上第一個(gè)觸發(fā)測(cè)頭: 1972年，但是身為勞斯萊斯(Rolls-Royce)公司副總設(shè)計(jì)師的David McMurtry為了幫助解決協(xié)和號(hào)飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)上直徑6.35mm復(fù)雜形狀的油管直徑，發(fā)明了世界上第一個(gè)接觸式觸發(fā)測(cè)頭。

世界上第一個(gè)觸發(fā)測(cè)頭

第一臺(tái)計(jì)算器數(shù)字控制（CNC）的三坐標(biāo): 1973年，德國(guó)Zeiss公司推出了第一臺(tái)計(jì)算器數(shù)字控制（CNC）的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)UMM 500，該測(cè)量機(jī)采用HP9810計(jì)算器，并配置了接觸式掃描測(cè)頭，三軸測(cè)量精度達(dá)到0.5ym.CNC數(shù)控系統(tǒng)提高了坐標(biāo)測(cè)量技術(shù)的自動(dòng)化水平奠定了快速掃描測(cè)量的基礎(chǔ)！提高了測(cè)量效率和精度，并增強(qiáng)了坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的功能。

德國(guó)Zeiss產(chǎn) UMM 500

第一次提出軟件補(bǔ)償誤差技術(shù): 1977年，R.Hocken等在MooreN.5坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上實(shí)現(xiàn)了誤差的軟件補(bǔ)償，并為此獲得了國(guó)際生產(chǎn)工程科學(xué)院的泰勤獎(jiǎng)?wù)隆?/span>1985年天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院張國(guó)雄教授等對(duì)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行了軟件誤差補(bǔ)償，將精度從20um提高到2um。此后，各種軟件誤差補(bǔ)償技術(shù)迅速發(fā)展，如熱誤差補(bǔ)償、動(dòng)態(tài)誤差補(bǔ)償?shù)?，并獲得廣泛應(yīng)用。

第一臺(tái)關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測(cè)量機(jī): 1986年，日本小坂研究所的小美濃武久等研制了關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)由多個(gè)關(guān)節(jié)組成，安裝有探測(cè)系統(tǒng)的測(cè)量臂可由人奉引對(duì)零件表面進(jìn)行測(cè)量。安裝在關(guān)節(jié)上的角度傳感器獲得轉(zhuǎn)動(dòng)角度，結(jié)合臂長(zhǎng)可計(jì)算出測(cè)量點(diǎn)的坐標(biāo)值。其主要優(yōu)點(diǎn)為量程大、體積小、質(zhì)量輕、靈活方便、便于現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量。

關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

第一臺(tái)納米坐標(biāo)測(cè)量機(jī): 1999年，英國(guó)國(guó)家物理實(shí)驗(yàn)室（NPL）基于商用測(cè)量機(jī)PMM 12106研制了一臺(tái)小量程測(cè)量機(jī)。該測(cè)量機(jī)的空間量程為50mmx50mmx50mm，測(cè)量不確定度為50nm。納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)開(kāi)創(chuàng)了坐標(biāo)測(cè)量精度新紀(jì)元，從而為微型制造奠定了堅(jiān)定的技術(shù)基礎(chǔ)。

第一臺(tái)全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)國(guó)產(chǎn)三坐標(biāo):2018年，由清華大學(xué)和深圳市政府聯(lián)合投資建立的深圳力合精密裝備科技有限公司生產(chǎn)的第一臺(tái)高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)交付客戶(hù)使用，此三坐標(biāo)核心零部件包括測(cè)座，測(cè)頭，電控，等全部自主研發(fā)生產(chǎn)。標(biāo)志著國(guó)內(nèi)在坐標(biāo)測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)上打破國(guó)外壟斷取得了突破性進(jìn)展。